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1）技術(shù)參數(shù)：整機(jī)規(guī)格2100mm(W)×1345mm(D)×2200mm(H)腔體規(guī)格共2個(gè)，單個(gè)：660mm(W)×850mm(D)×1520mm(H)腔體容積855L×2電極規(guī)格內(nèi)置管狀電極載物規(guī)格14層×2真空系統(tǒng)泵組（真空泵+羅茨泵），抽速：600m3/h電源...
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