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1）技術參數： 2）產品特點：ü設備采用知名品牌觸摸屏和PLC自動控制，包括自動調節、自動操作、自動報警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報警、放空報警、射頻電源反射功率報警、電源無功率輸出...
1）技術參數：
2）產品特點：
ü 設備采用知名品牌觸摸屏和PLC自動控制，包括自動調節、自動操作、自動報警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報警、放空報警、射頻電源反射功率報警、電源無功率輸出報警、真空度過高報警、真空度過低報警等），所有運行參數可監控，充分保證操作便捷、高效。
ü 設備采用專業定制的最優工藝參數，包括等離子發生源的功率、頻率及放電時間、工藝氣體配比及進氣量等，共同保證貨品的最優處理效果。
3）應用范圍：
芯片制造和封裝 光學鏡頭模組 消費電子零部件
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